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高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。

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常规的分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造，使得叶片转速不断提高的同时，更使分子泵适合超高真空系统，也延长了分子泵的使用寿命。分子泵与油封式旋片泵和涡轮式干泵相比，工作环境更加清洁，而且可以达到极高的真空度。但是，分子泵不能在大气压下工作，必须和其他能够在大气压下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或涡轮式干泵)联合使用。分子泵构造复杂、价格昂贵，高速旋转工作时会有振动。

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复合真空计的使用,复合真空计由上述两种真空计组合而成, 现在常用的型号有WXK 型和FZH 型, 使用方法基本相同。现就WZK-1A 型介绍如下。如图4 所示是WXK-1A 型的板面图, K1 为电流总开关, 开关K3、K4 及电位器W5 和电表CB2 属于温差电偶真空计部分, 其余均属于热阴极电离真空计部分,温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上, 测量时, 各用一根电缆线与复合真空计相接, 在使用前或停止使用时, 应该使面板上的所有开关都处于关闭状态。

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油扩散真空泵：锅炉内的扩散泵油经电加热沸腾形成蒸汽；油蒸汽经过导流管进入伞形喷嘴，形成超音速蒸汽流；由于存在密度梯度，油蒸汽射流上方的被抽气体扩散到蒸汽射流内部，获得动量，被携带到泵壁上；油蒸汽在水冷泵壁上冷凝，释放出气体，被前级泵抽走；冷凝油滴沿泵壁流回锅炉。