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如图3 所示, 通过B 管与真空系统相接, 使用时, 在灯丝电路中通以电流5 mA, 灯丝受热后便发射电子, 由于栅极为正电压, 使电子加速, 中途与气体分子相碰, 气体的密度越大, 碰撞机会越大, 产生的正离子也越多。另外, 由于板极电压为负, 便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip , 气体分子密度越大( 即压强越大) , 板极电流也越大, 反之就小。所以, 通过测量板极电流便可以确定气体的压强, 热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器,测量范围为1×10-2～1×10-5 Pa。注意: 一旦测量完结, 立刻关闭电离真空规管灯丝, 这样可延长规管使用寿命。

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。涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列，动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。可以看出，涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，

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在真空泵选型前，先来弄清楚几个基础概念：真空现实中是不存在真正的真空的，通常我们把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的状态都称之为真空状态。真空度 表示处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用压力值来表示。实际应用中，真空度通常有绝对真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-绝对压强（大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限绝对压强3300Pa；旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa）。

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点焊接。由于在低压下, 气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流( 90～150 mA)一定的条件下, 热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高, 温差电偶电动势也就随之而增大。因此, 通过测量温差电偶电动势, 就可确定出被测系统的真空度, 温差电偶真空计就是根据这个原理制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2 Pa。热阴极电离真空计的原理:电离真空规管就是一只三极管,

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真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。

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SRG在10-4-1Pa下具有相当高的精确度，以其优越的性能在其中占有重要地位，被广泛用于传递标准。然而，由于SRG的转子是在较强的恒定磁场中高速旋转，转子除了受到气体分子作用而产生分子阻尼外，还有内部感应损耗引起的旋转阻力发生在转子本身，受到磁场作用而产生的阻尼效应，残余阻尼的存在严重影响了SRG的下限扩展。从残余阻尼出发，谈到了SRG的涡流效应，温度效应，弛豫效应，