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工艺要求的抽气量(抽气速率)：真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2) ，S为真空泵抽气速率(L/s)，V为真空室容积(L)，t为达到要求真空度所需时间(s)，P1为初始压强(Pa)，P2为要求压强(Pa)。

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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组，这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵，便可起到承上启下的作用，流量连续，而且各泵皆可工作在更好状态。罗茨泵能工作在中真空范围，是更适合的，故又称罗茨增压泵，由于其压缩比不高，正好可连接几Pa至几百Pa的范围。当三级高真空机组进入较高的真空度时，由于主泵的排气流量明显减少，此时仅靠一台较小的前级泵便可维持抽气的连续性，在实际运用中这是经常采用的方法，这样可减少机组的能耗

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复合真空计的使用,复合真空计由上述两种真空计组合而成, 现在常用的型号有WXK 型和FZH 型, 使用方法基本相同。现就WZK-1A 型介绍如下。如图4 所示是WXK-1A 型的板面图, K1 为电流总开关, 开关K3、K4 及电位器W5 和电表CB2 属于温差电偶真空计部分, 其余均属于热阴极电离真空计部分,温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上, 测量时, 各用一根电缆线与复合真空计相接, 在使用前或停止使用时, 应该使面板上的所有开关都处于关闭状态。

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(2) 电离真空计的使用: 当被测系统的真空度低于0.1 Pa 时,不能接通电离真空计,否则会烧坏电离真空规管, 必须在温差电偶真空计CB2表的指针达到满偏转刻度时, 才能使用电离计,电离真空计暂时不用时,需断开电离计电源,否则会影响电离真空规管的寿命。① 发射电源的调节: 在未接通电源时, 采用五芯电缆线把电离真空规管与仪器联接,带鳄鱼夹的接线与电离真空规管板极联接, 有香蕉插头一端与仪器背面接线柱连接, 接通电源, 预热10 min, 把K7放在( 测) 位置, K6 放在( 发射电流)位置,调W4 使CB1 表指针指在红色标线“5”处。

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点焊接。由于在低压下, 气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流( 90～150 mA)一定的条件下, 热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高, 温差电偶电动势也就随之而增大。因此, 通过测量温差电偶电动势, 就可确定出被测系统的真空度, 温差电偶真空计就是根据这个原理制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2 Pa。热阴极电离真空计的原理:电离真空规管就是一只三极管,